عوامل تأثیرگذار سازمان جریان هوا در اتاق تمیز چیست؟

عملکرد تراشه در صنعت تولید تراشه از نزدیک با اندازه و تعداد ذرات هوای سپرده شده در تراشه مرتبط است. سازمان خوب جریان هوا می تواند ذرات تولید شده از منابع گرد و غبار را از اتاق تمیز دور کند و از تمیز بودن اتاق تمیز اطمینان حاصل کند. یعنی سازمان جریان هوا در اتاق تمیز نقش مهمی در عملکرد تولید تراشه دارد. اهدافی که باید در طراحی سازمان جریان هوای تمیز به دست بیایند عبارتند از: کاهش یا از بین بردن جریانهای ادبی در میدان جریان برای جلوگیری از حفظ ذرات مضر. برای حفظ شیب فشار مثبت مناسب برای جلوگیری از آلودگی متقابل.

طبق اصل اتاق تمیز ، نیروهایی که روی ذرات عمل می کنند شامل نیروی جرم ، نیروی مولکولی ، جذب بین ذرات ، نیروی جریان هوا و غیره هستند.

نیروی جریان هوا: به نیروی جریان هوا ناشی از تأمین و بازگشت جریان هوا ، جریان هوای همرفت حرارتی ، تحریک مصنوعی و سایر جریان های هوا با سرعت جریان خاص برای حمل ذرات اشاره دارد. برای کنترل فناوری محیط زیست اتاق تمیز ، نیروی جریان هوا مهمترین عامل است.

آزمایشات نشان داده است که در حرکت جریان هوا ، ذرات تقریباً دقیقاً با همان سرعت جریان هوا را دنبال می کنند. وضعیت ذرات موجود در هوا با توزیع جریان هوا تعیین می شود. اثرات اصلی جریان هوا بر روی ذرات سرپوشیده عبارتند از: جریان هوا (از جمله جریان هوای اولیه و جریان هوای ثانویه) ، جریان هوا و جریان هوای همرفت حرارتی ناشی از پیاده روی افراد و تأثیر جریان هوا بر ذرات ناشی از عملیات فرآیند و تجهیزات صنعتی. روش های مختلف تأمین هوا ، رابط های سرعت ، اپراتورها و تجهیزات صنعتی ، پدیده های ناشی از آن و غیره در اتاق های تمیز همه عواملی هستند که بر سطح پاکیزگی تأثیر می گذارند.

1. تأثیر روش تأمین هوا

(1) سرعت تأمین هوا

برای اطمینان از جریان یکنواخت هوا ، سرعت تأمین هوا در اتاق تمیز جریان یک طرفه باید یکنواخت باشد. منطقه مرده در سطح تأمین هوا باید کوچک باشد. و افت فشار در فیلتر HEPA نیز باید یکنواخت باشد.

سرعت تأمین هوا یکنواخت است: یعنی ناهموار بودن جریان هوا در 20 ٪ پوند کنترل می شود.

فضای مرده کمتری در سطح تأمین هوا وجود دارد: نه تنها باید سطح هواپیمای قاب HEPA کاهش یابد ، بلکه مهمتر از آن ، باید از FFU مدولار برای ساده سازی قاب اضافی استفاده شود.

برای اطمینان از اینکه جریان هوا عمودی و یک طرفه است ، انتخاب افت فشار فیلتر نیز بسیار مهم است و لازم است که از دست دادن فشار در فیلتر مغرضانه نباشد.

(2) مقایسه بین سیستم FFU و سیستم فن جریان محوری

FFU یک واحد تأمین هوا با یک فن و فیلتر HEPA است. هوا توسط فن گریز از مرکز FFU مکیده شده و فشار پویا را به فشار استاتیک در مجرای هوا تبدیل می کند. توسط فیلتر HEPA به طور مساوی منفجر می شود. فشار تأمین هوا بر روی سقف فشار منفی است. به این ترتیب هیچ گرد و غبار هنگام تعویض فیلتر به اتاق تمیز نشت نمی کند. آزمایشات نشان داده اند که سیستم FFU از نظر یکنواختی خروجی هوا ، موازی سازی جریان هوا و شاخص کارایی تهویه برتر از سیستم فن جریان محوری است. این امر به این دلیل است که موازی سازی جریان هوا از سیستم FFU بهتر است. استفاده از سیستم FFU می تواند سازمان جریان هوا را در اتاق تمیز بهبود بخشد.

(3) تأثیر ساختار خود FFU

FFU عمدتاً از طرفداران ، فیلترها ، راهنماهای جریان هوا و سایر اجزای تشکیل شده است. فیلتر HEPA مهمترین ضمانت اتاق تمیز برای دستیابی به تمیز بودن مورد نیاز طراحی است. ماده فیلتر نیز بر یکنواختی میدان جریان تأثیر می گذارد. هنگامی که یک ماده فیلتر خشن یا یک صفحه جریان به پرنده فیلتر اضافه می شود ، می توان میدان جریان خروجی را به راحتی یکنواخت کرد.

2. تأثیر رابط سرعت با پاکیزگی متفاوت

در همان اتاق تمیز ، بین محل کار و منطقه غیر کار با جریان یک طرفه عمودی ، به دلیل تفاوت سرعت هوا در جعبه HEPA ، یک اثر گرداب مخلوط در رابط رخ می دهد و این رابط به یک آشفتگی تبدیل می شود منطقه جریان هوا. شدت تلاطم هوا به ویژه قوی است و ذرات ممکن است به سطح دستگاه تجهیزات منتقل شوند و تجهیزات و ویفرها را آلوده کنند.

3 تأثیر بر کارمندان و تجهیزات

هنگامی که اتاق تمیز خالی است ، مشخصات جریان هوا در اتاق به طور کلی نیازهای طراحی را برآورده می کند. هنگامی که تجهیزات وارد اتاق تمیز می شوند ، مردم حرکت می کنند و محصولات منتقل می شوند ، به ناچار موانع سازمان جریان هوا وجود دارد ، مانند نقاط تیز که از دستگاه تجهیزات بیرون زده است. در گوشه ها یا لبه ها ، گاز برای تشکیل یک جریان جریان آشفته منحرف می شود و مایعات موجود در منطقه به راحتی توسط گاز ورودی از بین نمی رود و در نتیجه باعث آلودگی می شود.

در عین حال ، سطح تجهیزات مکانیکی به دلیل عملکرد مداوم گرم می شود و گرادیان دما باعث ایجاد یک منطقه بازتاب در نزدیکی دستگاه می شود که باعث افزایش تجمع ذرات در ناحیه بازتاب می شود. در عین حال ، دمای بالا به راحتی باعث فرار ذرات می شود. اثر دوگانه لایه عمودی کلی را تشدید می کند. دشواری کنترل پاکیزگی جریان. گرد و غبار از اپراتورها در اتاق تمیز می تواند به راحتی در این مناطق بازتاب به ویفرها پایبند باشد.

4. تأثیر کف هوای برگشتی

هنگامی که مقاومت بازگشت هوای بازگشت از کف متفاوت است ، اختلاف فشار رخ می دهد و باعث می شود هوا در جهت مقاومت کوچک جریان یابد و جریان هوای یکنواخت حاصل نمی شود. روش طراحی محبوب فعلی استفاده از یک طبقه مرتفع است. هنگامی که نسبت افتتاح کف ارتفاع 10 ٪ است ، سرعت جریان هوا می تواند به طور مساوی در ارتفاع کار داخلی توزیع شود. علاوه بر این ، برای کاهش منبع آلودگی روی زمین باید به تمیز کردن کار توجه دقیق شود.

5. پدیده القایی

این پدیده به اصطلاح القاء به پدیده تولید جریان هوا در جهت مخالف به جریان یکنواخت اشاره دارد و باعث ایجاد گرد و غبار تولید شده در اتاق یا گرد و غبار در مناطق آلوده شده مجاور به سمت بالا می رود و از این طریق باعث آلودگی گرد و غبار می شود. پدیده های ناشی از احتمالی شامل موارد زیر است:

(1) صفحه کور

در یک اتاق تمیز با جریان عمودی یک طرفه ، به دلیل اتصالات روی دیوار ، به طور کلی پانل های کور بزرگ وجود دارد که باعث ایجاد جریان آشفته و جریان عقب محلی می شود.

(2) لامپ ها

وسایل روشنایی در اتاق تمیز تأثیر بیشتری خواهد داشت. از آنجا که گرمای لامپ فلورسنت باعث افزایش جریان هوا می شود ، لامپ فلورسنت به یک منطقه آشفته تبدیل نمی شود. به طور کلی ، لامپ های موجود در اتاق تمیز به شکل اشک آور طراحی شده اند تا تأثیر لامپ ها در سازمان جریان هوا را کاهش دهند.

(3) شکاف بین دیوارها

هنگامی که شکاف بین دیوارهای پارتیشن یا سقف با نیازهای مختلف نظافت وجود دارد ، گرد و غبار از مناطقی که نیاز به نظافت کم دارند می توانند به مناطق مجاور با نیازهای تمیز بودن بالا منتقل شوند.

(4) فاصله بین تجهیزات مکانیکی و کف یا دیوار

اگر فاصله بین تجهیزات مکانیکی و کف یا دیوار کوچک باشد ، تلاطم برگشتی رخ خواهد داد. بنابراین ، شکاف بین تجهیزات و دیوار بگذارید و سکوی دستگاه را بالا ببرید تا از تماس مستقیم با زمین جلوگیری شود.