حفاظت از محیط زیست، به ویژه با افزایش هوای مه آلود، بیش از پیش مورد توجه قرار می‌گیرد. مهندسی اتاق تمیز یکی از اقدامات حفاظت از محیط زیست است. چگونه می‌توان از مهندسی اتاق تمیز برای انجام کار خوب در حفاظت از محیط زیست استفاده کرد؟ بیایید در مورد کنترل در مهندسی اتاق تمیز صحبت کنیم.
کنترل دما و رطوبت در اتاق تمیز
دما و رطوبت فضاهای تمیز عمدتاً بر اساس الزامات فرآیند تعیین می‌شوند، اما هنگام برآورده کردن الزامات فرآیند، باید راحتی انسان نیز در نظر گرفته شود. با بهبود الزامات پاکیزگی هوا، روند سختگیرانه‌تری برای الزامات دما و رطوبت در فرآیند وجود دارد.
به عنوان یک اصل کلی، به دلیل افزایش دقت پردازش، الزامات مربوط به محدوده نوسان دما به طور فزاینده‌ای کوچک و کوچک‌تر می‌شود. به عنوان مثال، در فرآیند لیتوگرافی و نوردهی تولید مدار مجتمع در مقیاس بزرگ، تفاوت ضریب انبساط حرارتی بین ویفرهای شیشه‌ای و سیلیکونی مورد استفاده به عنوان مواد ماسک به طور فزاینده‌ای کم می‌شود.
یک ویفر سیلیکونی با قطر ۱۰۰ میکرومتر، وقتی دما ۱ درجه افزایش می‌یابد، باعث انبساط خطی ۰.۲۴ میکرومتر می‌شود. بنابراین، دمای ثابت ± ۰.۱ درجه سانتیگراد ضروری است و مقدار رطوبت عموماً کم است زیرا پس از تعریق، محصول آلوده می‌شود، به خصوص در کارگاه‌های نیمه‌هادی که از سدیم می‌ترسند. این نوع کارگاه نباید از ۲۵ درجه سانتیگراد تجاوز کند.
رطوبت بیش از حد مشکلات بیشتری ایجاد می‌کند. وقتی رطوبت نسبی از ۵۵٪ بیشتر شود، روی دیواره لوله آب خنک‌کننده، میعان تشکیل می‌شود. اگر این اتفاق در دستگاه‌ها یا مدارهای دقیق رخ دهد، می‌تواند باعث حوادث مختلفی شود. وقتی رطوبت نسبی ۵۰٪ باشد، زنگ‌زدگی آسان است. علاوه بر این، وقتی رطوبت خیلی زیاد باشد، گرد و غبار چسبیده به سطح ویفر سیلیکونی از طریق مولکول‌های آب موجود در هوا به صورت شیمیایی روی سطح جذب می‌شود که حذف آن دشوار است.
هرچه رطوبت نسبی بالاتر باشد، از بین بردن چسبندگی سخت‌تر است. با این حال، هنگامی که رطوبت نسبی کمتر از 30٪ باشد، ذرات نیز به دلیل عملکرد نیروی الکترواستاتیک به راحتی روی سطح جذب می‌شوند و تعداد زیادی از دستگاه‌های نیمه‌هادی مستعد خرابی هستند. محدوده دمایی بهینه برای تولید ویفر سیلیکونی 35-45٪ است.
فشار هواکنترلدر اتاق تمیز
برای اکثر فضاهای تمیز، به منظور جلوگیری از نفوذ آلودگی خارجی، لازم است فشار داخلی (فشار استاتیک) بالاتر از فشار خارجی (فشار استاتیک) حفظ شود. حفظ اختلاف فشار به طور کلی باید با اصول زیر مطابقت داشته باشد:
۱. فشار در فضاهای تمیز باید بیشتر از فضاهای غیر تمیز باشد.
۲. فشار در فضاهایی با سطح تمیزی بالا باید بیشتر از فضاهای مجاور با سطح تمیزی پایین باشد.
۳. درهای بین اتاق‌های تمیز باید به سمت اتاق‌هایی با سطح تمیزی بالا باز شوند.
حفظ اختلاف فشار به میزان هوای تازه بستگی دارد که باید بتواند نشت هوا از شکاف تحت این اختلاف فشار را جبران کند. بنابراین معنای فیزیکی اختلاف فشار، مقاومت جریان نشتی (یا نفوذی) هوا از طریق شکاف‌های مختلف در اتاق تمیز است.
زمان ارسال: ۲۱ ژوئیه ۲۰۲۳