کنترل دما و فشار هوا در اتاق تمیز

حفاظت از محیط زیست به ویژه با افزایش هوای مه آلود بیش از پیش مورد توجه قرار می گیرد. مهندسی اتاق تمیز یکی از اقدامات حفاظت از محیط زیست است. چگونه از مهندسی اتاق تمیز برای انجام یک کار خوب در حفاظت از محیط زیست استفاده کنیم؟ بیایید در مورد کنترل در مهندسی اتاق تمیز صحبت کنیم.

کنترل دما و رطوبت در اتاق تمیز

دما و رطوبت فضاهای تمیز عمدتاً بر اساس الزامات فرآیند تعیین می شود، اما هنگام برآوردن الزامات فرآیند، آسایش انسان باید در نظر گرفته شود. با بهبود الزامات پاکیزگی هوا، روند الزامات سخت گیرانه تر برای دما و رطوبت در فرآیند وجود دارد.

به عنوان یک اصل کلی، با توجه به افزایش دقت پردازش، نیاز به محدوده نوسان دما کمتر و کوچکتر می شود. به عنوان مثال، در فرآیند لیتوگرافی و نوردهی تولید مدار مجتمع در مقیاس بزرگ، تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین شیشه و ویفرهای سیلیکونی مورد استفاده به عنوان مواد ماسک به طور فزاینده ای کوچک می شود.

ویفر سیلیکونی با قطر 100 میکرومتر باعث انبساط خطی 0.24 میکرومتر در هنگام افزایش دما به میزان 1 درجه می شود. بنابراین دمای ثابت ± 0.1 ℃ ضروری است و مقدار رطوبت به طور کلی کم است زیرا پس از تعریق، محصول آلوده می شود، به خصوص در کارگاه های نیمه هادی که از سدیم می ترسند. این نوع کارگاه نباید بیش از 25 درجه سانتیگراد باشد.

رطوبت بیش از حد باعث مشکلات بیشتر می شود. هنگامی که رطوبت نسبی از 55% تجاوز کند، تراکم روی دیواره لوله آب خنک کننده ایجاد می شود. اگر در دستگاه ها یا مدارهای دقیق رخ دهد، می تواند باعث بروز حوادث مختلفی شود. زمانی که رطوبت نسبی 50 درصد باشد به راحتی زنگ می زند. علاوه بر این، هنگامی که رطوبت بیش از حد بالا باشد، گرد و غبار چسبیده به سطح ویفر سیلیکونی از طریق مولکول‌های آب موجود در هوا، به سختی بر روی سطح جذب می‌شود.

هر چه رطوبت نسبی بیشتر باشد، حذف چسبندگی سخت تر می شود. با این حال، زمانی که رطوبت نسبی زیر 30 درصد است، ذرات نیز به راحتی بر روی سطح به دلیل اثر نیروی الکترواستاتیک جذب می شوند و تعداد زیادی از دستگاه های نیمه هادی مستعد خراب شدن هستند. محدوده دمایی مطلوب برای تولید ویفر سیلیکونی 35-45٪ است.

فشار هواکنترل کنیددر اتاق تمیز 

برای اکثر فضاهای تمیز، برای جلوگیری از نفوذ آلودگی خارجی، باید فشار داخلی (فشار استاتیک) بالاتر از فشار خارجی (فشار استاتیک) حفظ شود. حفظ اختلاف فشار به طور کلی باید با اصول زیر مطابقت داشته باشد:

1. فشار در فضاهای تمیز باید بیشتر از فضاهای غیر تمیز باشد.

2. فشار در فضاهایی با درجه تمیزی بالا باید بیشتر از فضاهای مجاور با سطح تمیزی پایین باشد.

3. درهای بین اتاق های تمیز باید به سمت اتاق هایی با سطح تمیزی بالا باز شود.

حفظ اختلاف فشار بستگی به مقدار هوای تازه دارد که باید بتواند نشت هوا از شکاف را تحت این اختلاف فشار جبران کند. بنابراین معنای فیزیکی اختلاف فشار، مقاومت جریان هوای نشتی (یا نفوذی) از طریق شکاف های مختلف در اتاق تمیز است.