دما و کنترل فشار هوا در اتاق تمیز

حفاظت از محیط زیست به ویژه با افزایش هوای مه ، بیشتر و بیشتر مورد توجه قرار می گیرد. مهندسی اتاق تمیز یکی از اقدامات حفاظت از محیط زیست است. چگونه می توان از مهندسی اتاق تمیز برای انجام یک کار خوب در حفاظت از محیط زیست استفاده کرد؟ بیایید در مورد کنترل در مهندسی اتاق تمیز صحبت کنیم.

کنترل دما و رطوبت در اتاق تمیز

دما و رطوبت فضاهای تمیز عمدتاً بر اساس نیازهای فرآیند تعیین می شود ، اما در صورت نیاز به روند کار ، راحتی انسان باید در نظر گرفته شود. با بهبود نیازهای پاکیزگی هوا ، روند نیازهای سختگیرانه تر برای دما و رطوبت در فرآیند وجود دارد.

به عنوان یک اصل کلی ، به دلیل افزایش دقت پردازش ، الزامات مربوط به دامنه نوسان دما کوچکتر و کوچکتر می شوند. به عنوان مثال ، در فرآیند لیتوگرافی و قرار گرفتن در معرض تولید مدار یکپارچه در مقیاس بزرگ ، تفاوت ضریب انبساط حرارتی بین ویفرهای شیشه ای و سیلیکون مورد استفاده به عنوان مواد ماسک به طور فزاینده ای کوچک می شود.

ویفر سیلیکون با قطر 100 میکرومتر باعث افزایش خطی 0.24 میکرومتر در هنگام افزایش درجه حرارت 1 درجه می شود. بنابراین ، دمای ثابت 0.1 پوند ضروری است ، و مقدار رطوبت به طور کلی کم است زیرا پس از عرق کردن ، محصول به خصوص در کارگاه های نیمه هادی که از سدیم می ترسند آلوده می شوند. این نوع کارگاه نباید بیش از 25 باشد.

رطوبت بیش از حد باعث ایجاد مشکلات بیشتر می شود. هنگامی که رطوبت نسبی از 55 ٪ فراتر رود ، تراکم بر روی دیواره لوله آب خنک کننده تشکیل می شود. اگر در دستگاه های دقیق یا مدارها رخ دهد ، می تواند باعث بروز حوادث مختلف شود. وقتی رطوبت نسبی 50 ٪ باشد ، زنگ زدگی آسان است. علاوه بر این ، هنگامی که رطوبت خیلی زیاد باشد ، گرد و غبار که به سطح ویفر سیلیکون چسبیده است ، از طریق مولکول های آب موجود در هوا از نظر شیمیایی جذب می شود که از بین بردن آن دشوار است.

هرچه رطوبت نسبی بیشتر باشد ، از بین بردن چسبندگی سخت تر است. با این حال ، هنگامی که رطوبت نسبی زیر 30 ٪ باشد ، ذرات نیز به دلیل عملکرد نیروی الکترواستاتیک به راحتی روی سطح جذب می شوند و تعداد زیادی از دستگاه های نیمه هادی مستعد تجزیه هستند. دامنه دما بهینه برای تولید ویفر سیلیکون 35-45 ٪ است.

فشارکنترل کردندر اتاق تمیز 

برای بیشتر فضاهای تمیز ، برای جلوگیری از حمله به آلودگی خارجی ، لازم است فشار داخلی (فشار استاتیک) بالاتر از فشار خارجی (فشار استاتیک) حفظ شود. حفظ اختلاف فشار به طور کلی باید با اصول زیر مطابقت داشته باشد:

1. فشار در فضاهای تمیز باید در فضاهای غیر تمیز بالاتر باشد.

2. فشار در فضاهایی با سطح نظافت بالا باید در فضاهای مجاور با سطح نظافت پایین بالاتر باشد.

3. درهای بین اتاق های تمیز باید به سمت اتاق هایی با سطح تمیز بودن بالا باز شود.

حفظ اختلاف فشار به میزان هوای تازه بستگی دارد ، که باید بتواند نشت هوا را از شکاف تحت این اختلاف فشار جبران کند. بنابراین معنای فیزیکی اختلاف فشار مقاومت در برابر نشت (یا نفوذ) از طریق شکاف های مختلف در اتاق تمیز است.