۱. در داخل اتاق تمیز، انواع مختلفی از اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی باید بر اساس الزامات فرآیند تولید محصول و خواص فیزیکی و شیمیایی مواد شیمیایی راه‌اندازی شوند. باید از خطوط لوله برای تأمین مواد شیمیایی مورد نیاز تجهیزات تولید استفاده شود. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی در داخل اتاق تمیز معمولاً در منطقه تولید کمکی، معمولاً در طبقه همکف یک ساختمان یک طبقه یا چند طبقه، نزدیک دیوار بیرونی قرار دارند. مواد شیمیایی باید بر اساس خواص فیزیکی و شیمیایی خود به طور جداگانه ذخیره شوند. مواد شیمیایی ناسازگار باید در اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی جداگانه قرار گیرند که توسط پارتیشن‌های محکم از هم جدا شده‌اند. مواد شیمیایی خطرناک باید در اتاق‌های ذخیره‌سازی یا توزیع جداگانه با درجه مقاومت در برابر آتش حداقل ۲.۰ ساعت بین اتاق‌های مجاور ذخیره شوند. این اتاق‌ها باید در اتاقی در طبقه اول ساختمان تولید، نزدیک دیوار بیرونی قرار گیرند.
۲. اتاق‌های تمیز در صنایع الکترونیک اغلب دارای اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع برای اسیدها و قلیاها و همچنین برای حلال‌های قابل اشتعال هستند. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع اسید معمولاً سیستم‌های ذخیره‌سازی و توزیع اسید سولفوریک، اسید فسفریک، اسید هیدروفلوئوریک و اسید هیدروکلریک را در خود جای می‌دهند. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع قلیایی معمولاً سیستم‌های ذخیره‌سازی و توزیع هیدروکسید سدیم، کیک هیدروکسید، هیدروکسید آمونیوم و هیدروکسید تترامتیل آمونیوم را در خود جای می‌دهند. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع حلال‌های قابل اشتعال معمولاً سیستم‌های ذخیره‌سازی و توزیع حلال‌های آلی مانند الکل ایزوپروپیل (IPA) را در خود جای می‌دهند. اتاق‌های تمیز در کارخانه‌های ساخت ویفر مدار مجتمع همچنین دارای اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع دوغاب صیقل‌کاری هستند. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی معمولاً در مناطق تولید کمکی یا پشتیبانی نزدیک یا مجاور مناطق تولید تمیز، معمولاً در طبقه اول با دسترسی مستقیم به فضای باز قرار دارند.
۳. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی مجهز به بشکه‌ها یا مخازن ذخیره‌سازی با ظرفیت‌های مختلف بر اساس نوع، مقدار و ویژگی‌های کاربرد مواد شیمیایی مورد نیاز برای تولید محصول هستند. طبق استانداردها و مقررات، مواد شیمیایی باید جداگانه و طبقه‌بندی شوند. ظرفیت بشکه‌ها یا مخازن مورد استفاده باید برای مصرف هفت روز مواد شیمیایی کافی باشد. بشکه‌ها یا مخازن روزانه نیز باید با ظرفیتی کافی برای پوشش مصرف ۲۴ ساعته مواد شیمیایی مورد نیاز برای تولید محصول فراهم شوند. اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع حلال‌های قابل اشتعال و مواد شیمیایی اکسیدکننده باید جداگانه باشند و توسط دیوارهای مقاوم در برابر آتش جامد با درجه مقاومت در برابر آتش ۳.۰ ساعت از اتاق‌های مجاور جدا شوند. اگر در طبقه اول یک ساختمان چند طبقه قرار دارند، باید توسط کف‌های غیرقابل احتراق با درجه مقاومت در برابر آتش حداقل ۱.۵ ساعت از سایر مناطق جدا شوند. اتاق کنترل متمرکز برای سیستم ایمنی و نظارت بر مواد شیمیایی در اتاق تمیز باید در یک اتاق جداگانه قرار گیرد.
۴. ارتفاع اتاق‌های ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی در اتاق تمیز باید بر اساس الزامات چیدمان تجهیزات و لوله‌کشی تعیین شود و عموماً نباید کمتر از ۴.۵ متر باشد. اگر در منطقه تولید کمکی اتاق تمیز قرار دارد، ارتفاع اتاق ذخیره‌سازی و توزیع مواد شیمیایی باید با ارتفاع ساختمان سازگار باشد.
زمان ارسال: ۱ آگوست ۲۰۲۵