الزامات طراحی اتاق تمیز الکترونیکی

علاوه بر کنترل دقیق ذرات، اتاق تمیز الکترونیکی که توسط کارگاه‌های تولید تراشه، کارگاه‌های بدون گرد و غبار مدار مجتمع و کارگاه‌های تولید دیسک نشان داده می‌شود، همچنین دارای الزامات سخت‌گیرانه‌تری برای کنترل دما و رطوبت، روشنایی و میکرو شوک هستند. تاثیر الکتریسیته ساکن بر محصولات تولیدی را به شدت حذف کنید تا محیط زیست بتواند الزامات فرآیند تولید محصولات الکترونیکی را در یک محیط تمیز برآورده کند.

دما و رطوبت اتاق تمیز الکترونیکی باید با توجه به الزامات فرآیند تولید تعیین شود. هنگامی که هیچ الزامات خاصی برای فرآیند تولید وجود ندارد، دما می تواند 20-26 درجه سانتیگراد و رطوبت نسبی 30٪ -70٪ باشد. دمای اتاق تمیز پرسنل و اتاق نشیمن می تواند 16-28 درجه سانتیگراد باشد. طبق استاندارد ملی چین GB-50073 که مطابق با استانداردهای بین المللی ISO می باشد، سطح تمیزی این نوع اتاق تمیز 1-9 می باشد. در میان آنها، کلاس 1-5، الگوی جریان هوا جریان یک طرفه یا جریان مخلوط است. الگوی جریان هوا کلاس 6 جریان غیر یک طرفه است و تغییر هوا 50-60 بار در ساعت است. نوع جریان هوا کلاس 7 جریان غیر یک جهته است و تغییر هوا 15-25 بار در ساعت است. نوع جریان هوا کلاس 8-9 جریان غیر یک جهته است، تغییر هوا 10-15 بار در ساعت است.

طبق مشخصات فعلی، سطح نویز در اتاق تمیز الکترونیکی کلاس 10000 نباید بیشتر از 65dB(A) باشد.

1. نسبت کامل اتاق تمیز جریان عمودی در اتاق تمیز الکترونیکی نباید کمتر از 60٪ باشد و اتاق تمیز یک طرفه افقی نباید کمتر از 40٪ باشد در غیر این صورت یک جریان یک طرفه جزئی خواهد بود.

2. اختلاف فشار استاتیک بین اتاق تمیز الکترونیکی و فضای باز نباید کمتر از 10Pa باشد و اختلاف فشار استاتیک بین مناطق تمیز و مناطق غیر تمیز با تمیزی هوای متفاوت نباید کمتر از 5Pa باشد.

3. مقدار هوای تازه در اتاق تمیز الکترونیکی کلاس 10000 باید ارزش دو مورد زیر را داشته باشد.

4. مجموع حجم هوای خروجی داخلی و حجم هوای تازه مورد نیاز برای حفظ مقدار فشار مثبت داخلی را جبران کنید.

5. اطمینان حاصل کنید که مقدار هوای تازه وارد شده به اتاق تمیز برای هر نفر در ساعت کمتر از 40 متر مربع نباشد.