الزامات طراحی اتاق تمیز الکترونیکی

علاوه بر کنترل دقیق ذرات، اتاق‌های تمیز الکترونیکی که شامل کارگاه‌های تولید تراشه، کارگاه‌های بدون گرد و غبار مدار مجتمع و کارگاه‌های تولید دیسک می‌شوند، الزامات سختگیرانه‌تری نیز برای کنترل دما و رطوبت، روشنایی و میکروشوک دارند. تأثیر الکتریسیته ساکن بر محصولات تولیدی باید به شدت حذف شود تا محیط بتواند الزامات فرآیند تولید محصولات الکترونیکی را در یک محیط تمیز برآورده کند.

دما و رطوبت اتاق تمیز الکترونیکی باید بر اساس الزامات فرآیند تولید تعیین شود. در صورت عدم وجود الزامات خاص برای فرآیند تولید، دما می‌تواند 20 تا 26 درجه سانتیگراد و رطوبت نسبی 30 تا 70 درصد باشد. دمای اتاق تمیز و اتاق نشیمن پرسنل می‌تواند 16 تا 28 درجه سانتیگراد باشد. طبق استاندارد ملی چین GB-50073 که مطابق با استانداردهای بین‌المللی ISO است، سطح تمیزی این نوع اتاق تمیز 1 تا 9 است. در میان آنها، کلاس 1 تا 5، الگوی جریان هوا جریان یک طرفه یا جریان مختلط است؛ کلاس 6 الگوی جریان هوا جریان غیر یک طرفه است و تعویض هوا 50 تا 60 بار در ساعت است؛ کلاس 7 نوع جریان هوا جریان غیر یک طرفه است و تعویض هوا 15 تا 25 بار در ساعت است؛ کلاس 8-9 نوع جریان هوا جریان غیر یک طرفه است و تعویض هوا 10 تا 15 بار در ساعت است.

طبق مشخصات فعلی، سطح نویز در اتاق تمیز الکترونیکی کلاس 10،000 نباید بیشتر از 65 دسی‌بل (A) باشد.

۱. نسبت کامل جریان عمودی در اتاق تمیز الکترونیکی نباید کمتر از ۶۰٪ باشد و جریان افقی یک طرفه در اتاق تمیز نباید کمتر از ۴۰٪ باشد، در غیر این صورت جریان جزئی یک طرفه خواهد بود.

۲. اختلاف فشار استاتیک بین اتاق تمیز الکترونیکی و فضای باز نباید کمتر از ۱۰ پاسکال باشد و اختلاف فشار استاتیک بین مناطق تمیز و مناطق غیر تمیز با تمیزی هوای متفاوت نباید کمتر از ۵ پاسکال باشد.

۳. مقدار هوای تازه در یک اتاق تمیز الکترونیکی کلاس ۱۰۰۰۰ باید معادل دو مورد زیر باشد.

۴. مجموع حجم هوای خروجی داخلی و حجم هوای تازه مورد نیاز برای حفظ مقدار فشار مثبت داخلی را جبران کنید.

۵. اطمینان حاصل کنید که میزان هوای تازه‌ای که به ازای هر نفر در ساعت به اتاق تمیز داده می‌شود، کمتر از ۴۰ متر مربع نباشد.