الزامات طراحی اتاق تمیز الکترونیکی

علاوه بر کنترل دقیق ذرات ، اتاق تمیز الکترونیکی که توسط کارگاه های تولید تراشه نمایش داده می شود ، کارگاه های یکپارچه بدون گرد و غبار مدار و کارگاه های تولید دیسک نیز نیازهای دقیق تری برای کنترل دما و رطوبت ، روشنایی و میکرو شوک دارند. تأثیر برق استاتیک بر محصولات تولیدی را به شدت حذف کنید ، به طوری که محیط می تواند نیازهای فرآیند تولید محصولات الکترونیکی را در یک محیط تمیز برآورده کند.

دما و رطوبت اتاق تمیز الکترونیکی باید با توجه به الزامات فرآیند تولید تعیین شود. هنگامی که هیچ نیاز خاصی برای فرآیند تولید وجود ندارد ، دما می تواند 20-26 درجه سانتیگراد و رطوبت نسبی 30 ٪ -70 ٪ باشد. دمای اتاق تمیز پرسنل و اتاق نشیمن می تواند 16-28 باشد. طبق استاندارد ملی چین GB-50073 ، که مطابق با استانداردهای بین المللی ISO است ، سطح پاکیزگی این نوع اتاق تمیز 1-9 است. در میان آنها ، کلاس 1-5 ، الگوی جریان هوا جریان یک طرفه یا جریان مختلط است. الگوی جریان هوا کلاس 6 جریان غیر مستقیم است و تغییر هوا 50-60 بار در ساعت است. کلاس 7 جریان هوا جریان غیر مستقیم است و تغییر هوا 15-25 برابر در ساعت است. نوع جریان هوا کلاس 8-9 جریان غیر مستقیم است ، تغییر هوا 10-15 برابر در ساعت است.

با توجه به مشخصات فعلی ، سطح سر و صدا در اتاق تمیز الکترونیکی کلاس 10،000 نباید از 65dB (A) بیشتر باشد.

1. نسبت کامل اتاق تمیز جریان عمودی در اتاق تمیز الکترونیکی نباید کمتر از 60 ٪ باشد و اتاق تمیز جریان یک طرفه افقی نباید کمتر از 40 ٪ باشد ، در غیر این صورت یک جریان یک طرفه جزئی خواهد بود.

2. اختلاف فشار استاتیک بین اتاق تمیز الکترونیکی و فضای بیرون نباید کمتر از 10pa باشد و اختلاف فشار استاتیک بین مناطق تمیز و مناطق غیر تمیز با پاکیزگی هوای مختلف نباید کمتر از 5PA باشد.

3. مقدار هوای تازه در یک اتاق تمیز الکترونیکی کلاس 10000 باید مقدار دو مورد زیر را بگیرد.

4. مبلغ حجم هوای اگزوز داخلی و حجم هوای تازه مورد نیاز برای حفظ مقدار فشار مثبت داخلی را جبران کنید.

5. اطمینان حاصل کنید که مقدار هوای تازه تأمین شده به اتاق تمیز در هر ساعت در هر ساعت کمتر از 40 متر مربع نیست.